第二百九十九章 研發中的第四代光刻機

溫成嶺跟隨羅佳離開辦公室,來到光學部地下三層。

在那裡,溫成嶺見到了一部機器,一部驗證原型機,型號爲超光刻初代。

“這是一臺光刻機?”

溫成嶺停下腳步,疑惑的問,同時露出震驚的表情。

商用型號光刻機會進行外包裝,而這臺是初代機,所以內部元器件都是裸露在外的,透過落地玻璃,可以一覽無餘。

溫成嶺震撼於這臺機器的設計,它個體很大,擁有多達六個機臺,其中三個是測量機臺,另外三個是標準曝光臺。

更多機臺可以提高光刻機的工作效率,每小時產出更多硅片。

然而增加機臺的同時,也對機械結構以及機臺的減震能力,提出了更高要求,難度係數呈幾何倍數增加,所以絕大多數光刻機的機臺都只有兩個。

光刻機是半導體領域的皇冠,需要無塵環境,此刻羅佳他們站在實驗室外面,隔着一層玻璃。

“要不要進去看一看?”羅佳問道。

“真的可以嗎?”溫成嶺微微一怔,顯得非常激動。

“當然了,我們去換防塵服。”羅佳笑着說。

溫成嶺在北美上學和工作的年代,中美關係還不像如今這樣緊張,所以他是識貨的,在斯坦福大學的實驗室裡,見過許多光學領域最前沿的科技。

時至今日,北美方面已經不允許華夏留學生,進入關鍵性科技領域學習了,以防止技術外泄,半導體,生命科學,航空航天,都屬於被禁的領域。

但溫成嶺雖然見多識廣,卻從未見過這樣誇張的光刻機設計,一臺機器,同時在六個機臺上展開全自動作業,效率應該會非常高吧。

溫成嶺一邊換上白色防塵服,一邊暗暗在心裡想,世界科技史上,從來就不缺乏精彩絕倫的創意,然而把創意變爲現實,卻是非常困難的,星辰科技的初代機,應該還是用來做驗證,完成度應該不會太高才對。

光刻機這個東西難到了什麼程度呢?

全世界只有一家公司能做EUV,也就是荷蘭ASML。

紫外光時代,全球有上百家企業出沒在光刻機領域,那個時候真可謂百花齊放,精彩紛呈。

然而好景不長,隨着深紫外光技術的推出,原本一百多家制造光刻機的企業,銳減到三家,除了佳能,尼康,ASML之外,其他所有企業全部慘遭淘汰。

從這也不難看出,一次技術進步,會給全行業帶來多麼嚴重的洗牌。

所有人都死了,還活着的三家自然賺的盆滿鉢滿,他們吃着火鍋,唱着歌,大把鈔票自然就來了,生活簡直不要太愜意。

可惜時間又過了幾年,隨着半導體技術不斷推陳出新,深紫外光刻也漸漸變的力不從心。

於是光刻機領域開始了第二輪技術競賽,而這次技術競賽的結果,是佳能和尼康出局,荷蘭ASML成爲最後的贏家。

全球唯一能夠製造極紫外EUV光刻機的超級怪獸,就此誕生!

這樣的慘烈競爭,簡直可怕!

要知道,尼康和佳能絕不是吃素的,他們都是這個世界上最厲害的光學企業。

一說起他們兩家,普通人會馬上想到數碼相機,各種鏡頭之類的民用產品,但尼康和佳能最強大和最賺錢的並不是民用領域,而是醫療器械。

當你去醫院裡,花一千來塊錢拍個CT的時候,所用的設備,很可能就是佳能或者尼康製造的,要不然就是理光,西門子,日立。

而一臺CT設備的售價,高達上千萬元,僅僅華夏地區,就有上萬套CT設備,全部來自進口,你猜這些年來,霓虹醫療器械巨頭,從華夏賺走了多少錢?

再說,你買了一臺CT機並不算完,配套軟件,設備檢修,各種耗材,也是要花錢從霓虹人手裡買。

總而言之,佳能和尼康是極其厲害的企業,光學領域扛鼎的存在,卻依然慘敗給荷蘭ASML,足以看出這個行業的門檻不是高,而是高到了天上。

荷蘭ASML也不是什麼無名小卒,它們的前身是大名鼎鼎的飛利浦光學,他們用的物鏡,來自全球鏡片領域第一大牛,德國卡爾.蔡司。

可以說,集合整個歐洲,再加上一部分北美的力量,才搞出了ASML這個怪物。

在過去,ASML是沒有對手的,直到星辰科技出現。

羅佳異想天開,決定彎道超車,繞過由紫外光,深紫外光,極紫外光組成的前三代核心技術,直接進入光刻機的第四代,超紫外混合激光,這其中的難度,外行人是永遠無法明白的。

唰~

溫成嶺正思考着,實驗室的密封門忽然在他面前打開了。

他笑了笑,在進入實驗室之前對羅佳認真的說道:“羅總,我的專業是激光,也自信能夠搞定光刻機的光源問題,但您應該也知道,一臺光刻機僅僅有光源是不夠的,其他數以千計的核心零部件,我可就無能爲力了。”

這算是給羅佳打預防針了,他說這話的意思是,我能幫你把超紫外混合激光搞出來,但激光之外的事情,我也是無能爲力,還要看星辰科技自己的力量。

羅佳只是點頭笑了笑,並沒有說什麼。

兩個人很快來到這臺機器跟前,羅佳淡淡的說,“這就是我們的初代機,它共分爲十三大結構,分別是激光發生器,光束矯正器,能量控制器,光束形狀調整器,遮光器,能量探測器,掩膜版,掩膜臺,物鏡,測量臺,曝光臺,封閉框架,磁懸浮減震。”

羅佳指着機器,介紹這臺複雜的組成。

雖然聽名字似乎很簡單,但就算用腳後跟想也能明白,作爲半導體行業的王冠,又怎麼可能簡單呢。

就拿這臺光刻機的物鏡來說,如果你以爲那是一個類似單反鏡頭東西,那就完全錯了。

ASML公司EUV型光刻機採用的物鏡,高達一米八四,寬度接近七十公分,是德國光學巨頭卡爾.蔡司集團,與激光巨頭亞琛集團聯合制造的。

物鏡多少錢?

抱歉,無論羅佳掏多少錢,都買不到這套物鏡。

從成本的角度估算,這套物鏡的成本應該在一千萬美元左右,其複雜程度和精確程度,足以被寫入光學發展史。

羅佳給溫成嶺看的,就是這麼個東西,它巨大而精密,充滿科幻電影般的未來感。

而且ASML的EUV是第三代,羅佳這個是第四代,超紫外光,技術複雜程度還要更高。

“你們...竟然已經做到了這種程度!?”溫成嶺激動的瞪大眼睛,發出不可思議的聲音。

剛纔距離遠,又隔着玻璃,所以沒太看清楚,還以爲是個樣子貨。

如今走進無塵實驗室裡,溫成嶺才恍然發覺,這臺四代光刻機的完成度,已經如此之高!

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