183.第182章 救星來了!

第182章 救星來了!

臨安,蘇省大學微電子學院。

“通入六甲基二硅胺烷……”

“硅片脫水完成,增粘處理完成,開始旋轉塗膠。”

“……”

這已經是他們不知道進行了多少次的實驗流程了,除了操作員時不時進行流程彙報之外,實驗內悄然無聲。

數十名研發人員都靜靜地堅守着自己的崗位,偶爾擡頭看一眼設備運行情況,以及站在操控臺中間的那位老人。

“塗膠檢測完畢,未發現氣泡,開始曝光前烘……前烘完畢,光刻機準備曝光……”

在實驗有條不紊的推進中,終於到了曝光環節。

每次進入曝光環節,那短短的十秒鐘,都讓吳利鴻感覺像一個世紀那麼長……

而在曝光的過程中,加裝在工件臺的的測量儀器也在同時進行瘋狂的數據收集。

“曝光結束,進入後烘環節,曝光數據正在分析中……”

“曝光過程總產氣量……”彙報結果的研究員停頓了一下,然後用顫抖的語氣念出了數值,“289立方納米!”

譁——!

聽到這個結果,整個實驗室都頓時安靜了下來,隨後便是陣陣驚呼聲。

“竟然真是光致產酸劑BR-側鍵的問題!”

“吳院士牛逼啊!”

“……”

雖然後烘的具體數據還沒出來,但光是這個產氣量的數據,就已經稱得上是史無前例的重大突破了!

塗滿12寸的硅片光刻膠,在曝光的過程中,才產出了僅僅289立方納米的氣體,

而這麼小的產氣量,光刻膠的曝光邊緣肯定非常光滑平整。

這就意味着更高的清晰度,以及更低的製程。

可以說,他們已經徹底解決了光刻膠最棘手的產氣量問題!

吳利鴻聽到這個數據後,臉上也不禁浮現起了一抹如釋重負的笑容,但這卻讓他的臉上的皺紋褶子更多了……

過了大約十分鐘,曝光後的硅片也已經完成了後烘,並對曝光部分的光刻膠進行了溶解清除,然後又進行了一次堅膜烘焙,加固光刻膠形成的電路保護膜。

接下來,就是他們這個實驗環節最重要的電路圖像清晰度分析了。

而最終的分析結果也果然不出他們所料,在降低了98%的產氣量後,他們得到的電路保護膜,表面非常光滑平整,沒有出現任何坍塌變形!

“膜厚正常,套刻精度正常!”

聽到這個結果,所有人頓時都激動的看着吳利鴻。

事實上實驗進行到了這一步,已經基本可以肯定他們的EUV光刻膠,已經達到了13.5納米的製程標準。

因爲他們蘇省微電子的所有精力,都用來研發光刻膠了,對多重曝光等壓縮製程的工藝,沒有太多的研究,所以13.5納米只是他們研究所的最小製程工藝。

而這款光刻膠具體的最小製程,得找申城硅產業或者立昂微來做進一步的驗證,尤其是最早拿到EUV光刻機的申城硅產業,經過這幾個月的摸索調試,他們已經把製程工藝推到了5nm。

不過爲了穩妥起見,吳利鴻還是按捺住激動的心情,對大家開口道:“立即準備蝕刻實驗驗證,確認最後的環節沒問題再送到申城硅產業去。”

“明白!”

研究員們聽到後,頓時又開始忙碌了起來。

本來按照他們之前的實驗流程,實驗到了這一步基本就是失敗了,這次其實根本就沒有做好進入蝕刻環節的準備。

但面對這個意想不到的巨大驚喜,大家卻沒有一絲‘臨時加班’的怨言,一個個都吭哧吭哧地開始重新準備實驗。

兩個小時後,最終結果終於出爐了。 他們研發的光刻膠,成功地經受幹法刻蝕中高能粒子的洗禮,順利完成了保護硅片基底的任務,芯片良品率高達98%!

在吳利鴻院士的帶領下,蘇省大學微電子研究員,終於成功研發出了一款能勝任13.5nm製程的國產頂級EUV光刻膠!

而且這個13.5納米制程,只是目前的初步實驗結論。

從他們這次得到的套刻精度來看,這款光刻膠實際上有相當大的可能,可以勝任5納米制程芯片的製造!

吳利鴻也非常沉得住氣,沒有選擇立即將實驗結果上報上去,而是讓研究員們按照上次的配方,重新調配了一批光刻膠。

然後重複做了足足十次實驗,確認每次的結果誤差都在可接受的範圍內後,才帶着光刻膠和團隊的主要技術人員飛往魔都,來到了申城硅產業集團。

此時的申城硅產業的集團總裁陳雲明恰好在和華威的餘總和何總,討論華威P6的芯片代工問題。

而雙方討論的要點,就是產量和成本的問題。

華威本着量大從優的道理,想要直接訂購兩千萬枚麒零9000。

但申城硅產業現在,其實也就只有一臺秦光一號。

按照秦光一號每小時180片的硅片吞吐量,以及製造出的每片晶圓可以切割出500枚芯片來算,一臺光刻機每天的產能應該有216萬枚。

但實際上,光刻機的吞吐量不代表晶圓的製造速度,而是要根據不同芯片的設計,進行多次曝光和蝕刻。

以麒零9000爲例,它需要經過足足19次光刻-蝕刻循環,才能完成整個晶圓製造環節,

也就是說,每天理論上只能造11萬枚。

這還是建立在設備24小時不停機休息和維護,以及100%良率的基礎之上。

因此實際產能,平均每天能有8萬枚,就已經很不錯了。

兩千萬枚芯片的訂單,要差不多八個月才能完成,還是把所有產能,都壓榨給華威的情況下。

何況在如此高負荷的運轉下,他們光刻膠的庫存,都不知道能不能撐得住……

“……我們也得考慮成本,也要時間來研發3nm的製程工藝,希望你們也能考慮一下我們的難處。”

陳雲明實在有點受不了兩位老總的軟磨硬泡,最終拍板道,

“要不就這樣吧,我給你兩個方案,一個是150元300萬枚,一個是200元600萬枚,600萬是極限,已經很夠意思了。”

“呃……”

餘總立刻在心裡算了一筆賬。

按照臺機電5納米制程,13400美元/片晶圓的價格來算,約等於每枚5nm製程的芯片代工費,是187元。

但臺積電的代工是按晶圓來算的,廢品都給你算錢了,而陳雲明剛剛報的是當個芯片價格,等於去掉了廢品,所以150-200元的代工費,在這個特殊時期,確實相當厚道了。

“可是陳總,這買賣哪有越多越貴的道理……”

“這不是情況特殊嘛,如果在庫存光刻膠消耗完之前,國產光刻膠沒有動靜,那我們有光刻機也沒得用啊,只能先省着點花了……”

“其實還有個辦法,就是伱們去找康博士借點光刻膠給我們,那小子賊精得很,早早地就讓我們幫他屯光刻膠了,現在大漢芯業的光刻機屯得比我們還多!”

每每想到這裡,陳雲明都有點後悔當初沒有聽康馳的,提前多屯點光刻膠。

主要是,當初誰能想到他能這麼快搞出EUV光刻機……

就在餘總還在考慮着,六百萬枚到底能撐多久的時候,陳雲明突擊接到了吳利鴻的電話。

“吳院士?等等……你說什麼?測試光刻膠?就到樓下了?!”

“……”

放下電話的陳雲明,過了半響才緩過神,然後連忙打了個電話給董建元,讓他下去接吳利鴻。

處理完這些後,他才轉頭看向華威的兩個老總,一臉激動地說道:“我們的救星來了!”

(本章完)

第360章 勇闖敵陣第214章 文明的英雄?185.第184章 壓力賊大第227章 跑不完,根本跑不完!141.第140章 揭疤療傷第388章 蒸汽朋克的浪漫第12章 突然變得多餘第223章 恐怖能量密度第290章 打擊有點大第376章 康總你可真刑啊!109.第108章 採集方案155.第154章 怎麼換車了?第324章 比劃第310章 習慣真可怕179.第178章 這波贏了幾次?第328章 這就入伍了?175.第174章 下面有動靜了!第301章 雅典娜AI聯合實驗室第276章 糾纏量子捕捉器72.第72章 風聲鶴唳(求訂閱)第361章 機器人的速度怎麼可能這麼快?第250章 新都號遇襲!第199章 當初果然沒看錯你第253章 救援計劃第292章 不愧是康總啊第375章 公開課第398章 回去加個班第2章 命運的齒輪開始轉動了第206章 到底誰纔是小羊羔?第294章 你們到底在幹嘛?第33章 學習的快樂65.第65章 技術層面的碾壓第247章 集團總結大會1第320章 畫質逼真177.第176章 啞巴吃黃蓮第380章 空歡喜一場第260章 張院士真傳第369章 相同的夢想171.第170章 推銷不易第333章 架天路158.第157章 他非常認可我的計劃第314章 研發模式上的碾壓第392章 最高終身成就90.第90章 棄車保帥第239章 真正的在做公益139.第138章 交互式全息投影114.第113章 剋星第242章 如獲至寶第389章 點火只是開胃菜而已173.第172章 康總夠意思!37.第37章 水到渠成196.第195章 男人三十而立第258章 大涵道渦扇發動機第283章 新鯤鵬,起飛!第392章 最高終身成就第19章 你剛剛說多少?120.第119章 天下八級鉗工,盡入吾彀中第392章 最高終身成就57.第57章 大秦唯一的出路【求追讀】193.第192章 一對三千第226章 福利吃滿第363章 守財奴第370章 真真假假第249章 開疆拓土和後勤保障第326章 顛覆對決第248章 集團總結大會2第27章 想屁吃呢?第384章 自我感覺良好167.第166章 草率了啊!163.第162章 大勢已去第41章 備選方案第244章 重型銀鶴124.第123章 牽線第334章 雲鶴的舞臺第385章 賭徒第236章 我這有份學習資料第51章 白送第386章 實驗爭執第395章 陳海是誰?!第226章 福利吃滿第315章 官方得失心瘋了?184.第183章 寶刀未老,鋒芒不減126.第125章 贏麻了第16章 有被驚喜到!71.第71章 遙遙領先!(求訂閱)80.第80章 整合方案162.第161章 這,就是武安嗎?89.第89章 華國速度!第280章 漏洞多什麼時候成了優點了?127.第126章 改良方案180.第179章 便攜式電腦終端第224章 這個理由好啊!第35章 烤機第332章 突擊者第277章 展會式發佈178.第177章 有人歡喜有人愁58.第58章 想回不敢回第295章 血虧第300章 六足移動平臺第398章 回去加個班
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