今天是洪湖市洪山區的中晶微公司晶圓廠設備進廠的日子,兩臺瑞星科技公司光刻機被存進了恆溫倉庫,今天被運抵廠區,需要在吊車的協助下吊裝進廠房。
此刻廠房二樓外牆上拉開了一扇預留的大門,門下臨時搭起了一個運輸平臺。
起重吊車轟鳴着,將運輸卡車上那個用一層層保溫材料包裹着的設備箱緩緩吊起,平穩送上了二樓平臺,隨即設備箱被安裝人員在平臺上打開,將裡面那臺用一層層保溫防塵膜裹緊的光刻機推到了滑輪臺上,然後被小心地推進活動門。
隨着被多層薄膜裹得嚴嚴實實的兩臺光刻機前後消失在門內,工作人員將大門緩緩合攏,工程師們魚貫爬上平臺,開始對大門與牆體接縫處進行密封施工。
譚雲鬆此時手拿對講機發號施令:“設備一組各就各位,立刻對光刻間進行一級除塵,注意控溫,三小時後摘除第一層防塵恆溫罩,明天天亮之前要把所有防塵恆溫罩摘除,明天一定要進入機位安裝程序,絕不能耽誤瑞星科技公司安裝人員的工作日程!”
楊傑在譚雲鬆身旁靜靜地看着他指揮,心中感慨良多。
這是第一座在洪湖市落戶的第一個0.18微米十二英寸晶圓廠,經過一年多的緊張施工,現在終於進入了設備安裝調試階段,這也算是亞洲第一座最先進的晶圓廠了。
“譚總,能把建設週期壓縮到一年多,真是了不起呀!”楊傑笑着道。
“這主要是瑞星科技公司的設備能跟得上。”譚雲鬆笑着看了一邊的何玉光跟席海清等人。
“呵呵,也是燕京的激光物化所去年年底總算是生產出了合格的氟化氪激光光源,公司總算是生產出了這麼幾臺光刻機。”何玉光笑道。
燕京激光物化所製備出足夠功率的準分子激光光源後,瑞星科技公司也是加緊了組裝調試的工作,花了大半年的時間總算是將光刻機給生產出來了。
龍宏偉看着楊傑感嘆道:“還是小杰你考慮周到,早早地做好了準備,準備了幾十套的光刻機配件,現在美國人已經全面禁止這些生產光刻機配件的國外廠商向國內提供配件,否則國內的光刻機還真是被他們給卡死了。”
“我們瑞星科技公司是戳到了美國人的痛處,自然想盡一切辦法要掐死我們,我不得不多多些心眼,不過現在國內的光刻機無法從國外採購到配件,現在只能等國內的製備出替代的產品配件了,我也是希望國內能在七八年之內至少能解決光學鏡頭跟其他大部分配件的生產製造。”
楊傑說道。
“我還是有信心的,楊子光主席也是下了死命令,必須要五年之內出成果。”龍宏偉說道。
他頓了頓,笑着對楊傑說道:“華晶科技公司也想要上0.18微米的製程工藝,小杰你無論如何也得給華晶留幾臺光刻機跟刻蝕機。”
“龍部長,你們這步子邁得可是很大呀!”
龍宏偉現在已經不再擔任信息產業部部長的職位,而是把精力集中在了華晶集團公司的管理上面來。
“雖然華晶現在還在攻克0.25微米的製程工藝,但是也不能跟華越電子公司和你們中晶微落後太遠。”
這幾年華晶集團公司從國內衆多公司手裡接到了大量的芯片訂單,日子過得相當滋潤,手裡有了錢,華晶對上更高製程工藝的晶圓廠卻是信心十足。
現階段美國之允許華夏國進口0.35微米的晶圓廠設備,但是華晶現在已經掌握了0.35微米的製程工藝,而且華越電子公司跟中晶微光是產能基本上被華興科技集團公司給擠佔了,國內的公司也只能將將訂單交給華晶來完成,今年上半年華晶集團公司就創收40多億,相比幾年之前虧損經營簡直是一個天一個地。
相比較而言,華晶集團公司跟中晶微和華越電子公司的營收還是有很大的差距,這主要是兩家公司生產的全都是高端芯片,華越電子公司現在去年的營收接近了兩百億,中晶微也是一百六十多億,都是賺得盆滿鉢滿。
但是高層對華晶集團公司的營收卻是十分滿意,也是有着如此亮眼的成績,高層更是堅定了發展半導體的信心。
如果換成是幾年之前,中晶微要是投產如此先進的晶圓廠,有可能連楊子光主席都會過來視察,不過這幾年國內在半導體上捷報頻傳,高層對此已經變得習以爲常了,再加上楊傑也不想搞得興師動衆,所以也沒有向中央和楚北省和洪湖市彙報。
衆人來到了公司的辦公樓裡面的會議室,楊傑也是問起了何玉光跟席海清在研發上的細節問題。
何玉光目前正在全力以赴攻關雙工件臺智能聯動鏡頭像場精密校準系統,他也是詳細地址說了很多技術上碰到的難點,席海清研製的刻蝕機也是遇到了不少的難題。
瑞星科技公司採用可見光與紫外雙光譜探測方法來檢測電暈信號的存在並對其進行定位,爲了實現非常精準的曝光對焦,公司也是召集了人手研發了電暈探測系統紫外對焦控制模塊,爲了攻克對焦的雙閉環控制過程及其軟硬件實現方法,楊傑之前也是提供了一些算法,倒是幫助技術團隊找到了對焦控制過程中誤差產生的原因,減小紫外對焦系統的對焦誤差,使紫外相機像面始終處於焦深之內。
不過現在在測試的過程中光刻機運行時間久了還是出現了對焦成功率下降的原因,現在何玉光也是爲這個事情抓狂不已。
“你們有沒有想過是熱敏電阻元器件的問題?”楊傑開口說道:“剛纔何總說是溫度升高後精度下降,有很大的原因是跟光刻機缺少高精度的溫度測量和控制溫度的穩定的系統,想必是熱敏電阻在溫度升高後出現了恆流源不穩定、電壓偏移的情況,造成了精度下降。”
何玉光眼中頓時閃過亮光:“對呀,我怎麼沒想到?!”
楊傑笑了笑:“我也是提供了一個解決問題的方向,何總回去後讓提供熱敏電阻的國內廠商讓他們生產抗干擾能力和性能穩定的熱敏電阻,並讓他們提供高精度的溫度測量系統,選用合理的數學模型跟熱值處理方法。”
楊傑也不會越俎代庖,他知道這兩位都是各自領域的專家,有些技術只是提供一個想法他們就茅塞頓開了,剩下的東西只是一個不停驗證不停改進的過程,並不需要他太過操心。
不過讓他感到驚喜的是在機牀研究所的幫助下,刻蝕機設備的進展非常大。
這也難怪,刻蝕機的難度比起光刻機的難度還是要小一些的。
因爲席海清在射頻電源上有着極深的造詣,這幾年在射頻電源自動匹配器的算法上有了很大的突破,而且龍芯半導體公司兩年多之前從清華大學得到CMOS圖像傳感器後也是組織了技術團隊在這上面進行技術攻關,並且通過日本的研發中心找到了這方面的專家加入了團隊,圖像傳感器技術上也是取得了不小的突破,刻蝕機上面就搭載了高分辨率的傳感器,極大地提高了刻蝕機的精度。
楊傑也是好生地勉勵了這兩位專家跟技術團隊一番。
“雖然光刻機跟刻蝕機這些設備全世界的份額不是很大,但是卻是重中之重,爲了激勵大家努力工作,總公司這邊會考慮在國內能夠提供絕大部分的配件後將瑞星科技公司獨立出去,到時候再給大家分配股權。”楊傑說道。
楊傑這幾年往瑞星科技公司裡面一直在砸錢搞研發,至少砸進去了幾十億,現在研發人員已經增加到了接近兩千名,現在的瑞星科技公司其實一直都在虧損狀態,上次拆分的時候他就沒有讓瑞星科技公司成爲子公司。
他要等到瑞星科技公司熬到國內的配套產業鏈起來後纔會讓瑞星開始殺入到國際市場上去,雖然這段時間可能長達六七年,這中間也許還要砸進去兩百億都不止,但是現在的華興科技集團還是能支撐得住的。