“非常好！”楊子光高興地點頭說道，“你們能在這方面跑到所有公司的前面對我們國傢俱有重大的戰略價值，你們一定要牢牢地佔領這個技術制高點，這樣我們國家纔不會被國外卡脖子。”
隨後楊子光也是視察了瑞星科技公司，當楊子光見到瑞星科技公司正在測試試驗的第三代高端G1光刻機。
瑞星科技公司和燕京物化所聯合研製的氟化氪激光光源去年已經變得成熟了，爲瑞星科技公司提供了穩定可靠的光源。
同時瑞星科技公司也是根據楊傑的技術方案開發出了掩模臺、工件臺位置測量裝置及測量方法，並且申請了國家專利。
這套裝置採用了若干激光干涉儀取代電容傳感器，使水平向和垂直方向的傳感器一致，摸索出了一套獨有的算法，對測量過程中引入對各向測量干涉儀的進行了權重分配，使得對掩模臺位置測量更加精確。
瑞星科技公司通過數年的艱苦研發，總算是將工件臺和掩膜臺運動精度控制在了三納米的程度，這一切是瑞星科技公司和機牀研究院和數個研究所一同攻關的成果，光是這麼一個系統參與的技術人員就達到了上千名。
三陽光學廠在使用了機牀研究院超高精度的磨牀後和天馬科技公司提供的研磨液後總算是將這些鍋蓋大小的鏡頭光學孔徑數值提升到了1.33，已經接近了光學鏡頭的極限。
德國蔡司能把光學鏡頭的光學孔徑數值已經能做到1.4，已經逼近了1.49這個極限，三陽光學廠能做到這個地步已經是非常了不起了。
這些鏡片是三陽光學廠一位有着幾十年鏡頭研磨經驗的老技師在超高精度磨牀和測量儀器的配合下手工研磨出來的。
雖然這樣的光學鏡頭產量少，生產時間很長，但是卻是讓三陽光學廠在光學鏡頭技術上邁入了一流的光學器材廠商行列。
而瑞星科技公司也是爲這套光刻機研發了減震器，採用了內部封閉框架，將工作臺與外部環境隔離，保持水平，減少外界振動干擾，並維持穩定的溫度、壓力。
爲了達到這些要求，瑞星科技公司上下所有人員都是削尖腦袋不停地想辦法解決各種工程技術上的難題，總算是將雙工件臺的第一臺氟化氪激光光源的沉浸式光刻機給製造了出來。
這也就意味着瑞星科技公司這套光刻機可以支持的極限製程工藝在32納米，如果在這個期間三陽光學廠能將鏡頭的光學孔徑數值提高到極限，那麼可以支撐製程工藝來到22納米！
瑞星科技公司並沒有向外界公佈這個消息，也是等着明年上半年推出的時候好好地震一下艾斯摩爾和佳能和尼康這些光刻機廠商的。
“你們還真是有什麼寶貝都喜歡藏着不讓人看到呀！”楊子光感慨地說道。
“首長，我們公司內部有一套完整的測試試驗流程和標準，我們不希望推出去的光刻機產品是有缺陷的，瑞星科技公司要保證每一臺交到客戶手上的設備都是非常可靠的。”
“你們在這套光刻機上面投入了多少的研發費用？”楊子光問道。
“總共加起來在50多億。”楊傑回答道。
“你們投入這麼多，能收回成本嗎？”楊子光關切地問道。
“請首長放心，我們這套光刻機我是非常有信心的，”楊傑笑着道：“瑞星科技公司測試試驗的過程中這套設備運行是很可靠的，也是世界上第一臺氟化氪光源的沉浸式光刻機，在技術上來說我們已經走到了前面，我也有信心可以從全世界的光刻機市場裡面拿到很高的市場份額，畢竟這麼好的東西大家都會想要的。”
“這麼一臺光刻機你們準備要賣多少錢啊？”楊子光問道。
“瑞星公司內部也是做過覈算，出口價格定在四千萬美金是比較合適的，國內的話還要便宜些。”
楊子光張了張嘴，好幾秒鐘後才說道：“你們這個出口價格一臺抵得上兩架梟龍戰鬥機了！”
現在梟龍的價格每架大概在2000萬美金，也是華夏國現在出口的最高端的產品了，不過G1光刻機卻是要馬上替代掉它了。
在前世的記憶中，艾斯摩爾在沉浸式光刻機取得突破後尼康和佳能的的高端光刻機基本被吊打，主流半導體產線中只有少數低階老機齡的光刻機還是尼康或者佳能，其他基本都是艾斯摩爾的天下。
尼康的光刻機也只能用賣的超級便宜來搶市場了，光刻機的單價只有2000多萬美金，而同類型的艾斯摩爾氟化氪光刻機卻是賣到了7000萬美元左右。
相比之下，尼康跟佳能就顯得非常窘迫了。