楊傑在得知黃明超等人研發的極紫外光光刻機對波長在12納米的光源十分敏感,心中也是詫異了一下。
在前世的時候,艾斯摩爾公司研製的極紫外光光刻機的波長控制在13.5納米,這主要是因爲光刻膠的原因,這主要是因爲光刻膠的配方主要是掌握在住友、TOK、陶氏等少數幾家公司手裡,配方自然是又他們來決定的。
而黃明超他們配方不一樣,自然對極紫外光光源不同的波長有着不一樣的光化學效應。
之前黃明超他們來做實驗主要是用掃描隧道顯微鏡來觀察光刻膠對光源照射劑量反應後的情況,並不能實時地觀察到這個反應過程,這樣黃明超他們只能是不停靠着試錯的方式來調整配方。
現在有了這個神光光源設施後,通過利用光源光束脈衝性質拍攝一系列的快照,這些快照聚集起來,隨時間的推移,可以形成一個樣品變化的動態圖像。
這個就是神光光源設施儀器設備的時間分辨技術,有了這套技術設備可以清楚地觀察到光刻膠在光源照射時的各種反應情況,可以讓黃明超他們可以更快地分析判斷光刻膠具體的性能,從而爲配方的調整方向有了非常明確的目標,可以大大地縮短研發時間。
現在因爲國內的主要的晶圓廠很大一部分都是使用華興半導體材料公司的光刻膠產品,光是光刻膠這一個業務也是給半導體材料公司每年都帶來巨大的利潤,所以也足夠支撐公司在這方面的研發。
光刻膠僅爲半導體材料公司的子業務,公司還研發高純度的靶材、薄膜晶體管的薄膜材料、氮化鎵材料、晶體硅材料等,總共有數千名的工程師團隊。
雖然說半導體材料公司每年光是研發投入就是十多億美金,不過這個子公司每年的營收也是在上百多億美金,雖然規模不大,但是真的是非常賺錢,利潤率極高。
由於光刻膠等半導體材料技術門檻高,全世界能夠供應的也都是那些大型材料商公司,數量極少,楊傑就是靠着自己建立起來的產業鏈使用自己公司提供的材料很短時間內就讓半導體材料公司由無到有,由弱變強,在不降低產品品質的前提下精心地培養半導體材料公司,現在也是成爲了能夠跟海外那些大型材料商掰手腕的公司。
現在很多海外的客戶也是開始選用華興半導體材料公司的產品來進行生產,海外的客戶數也是越來越多。
同時因爲用自己公司的材料大量取代了海外公司的材料,也是大幅地降低了自家產品的生產成本,也是讓整個公司的產品始終是保持足夠的利潤空間。
前世的時候國內雖然半導體產業也是看着很繁榮,但是彼此之間都是割裂開來的,很多的半導體材料都是掌握在海外的公司手裡,決定着定價權,國內的這些材料國內的晶圓廠很多都是受制於外資,不會用也不敢用國產的材料。
但是現在中晶微、華越電子公司、華晶科技集團公司這三大公司的自主性都是非常高,剛開始的時候主要是用海外的半導體材料,之後逐步地開始用半導體材料公司的材料來代替,這方面都是很同步的。
所以除了華興半導體材料公司之外,國內也是出現了十多家能夠提供可靠國產化半導體材料的公司,半導體材料的國產化程度已經達到了百分之七十多,這些國內的半導體材料公司都是活得比較滋潤。
不過在光刻掩膜光罩這個細分領域卻是因爲市場場集中度高,寡頭壟斷嚴重,豐創集團、霓虹國的DPN和社Toppan三家佔據80%以上的市場份額,不過這個市場規模也不大,現階段來說只有二十多億美金的樣子,所以半導體材料公司在這方面就沒有發力了,而是主要跟着幾家公司都是有合作。
楊傑也從來沒有說自己要把半導體材料整個市場給吞下來的想法,這些公司在這些細分領域持續研發了這麼多年了,自然是有其過人之處。
而且華興集團公司現在已經掌握了半導體產業最核心的技術,自然也是有底氣進行合作的。
而且這些公司也是十分樂意跟華興集團公司進行合作,爲華興集團公司開發各種高階的光刻掩膜光罩。
現在國內成了全世界最大的芯片生產基地,這幾家光罩廠自然對兔子國國內的半導體市場十分重視,豐創集團公司還在潭州市這邊建設了最高等級的光罩廠,專門爲中晶微、華越電子公司、華晶集團公司、天馬科技公司等公司提供高端的光罩。
華興集團公司現在正在研發極紫外光光刻機,自然也是跟豐創集團公司有過接觸,希望他們能夠研發出極紫外光光刻掩膜的光罩。
極紫外光光刻機光刻的時候使用鏡面反射光而不是用透鏡折射光,所以採用的光掩膜版也需要改成反射型,改用覆蓋在基體上的硅和鉬層來製作,同時因爲極紫外光光刻機因爲製程工藝極高,對光掩膜版的準確度、精密度、複雜度要求比以往更高。
當前製作掩膜版普遍使用的可變形狀電子束設備,其寫入時間成爲最大的挑戰,解決方案之一是採用多束電子束設備,這就需要這些生產製造電子束設備的公司開發相關多束電子束產品。
也是因爲極紫外光光源破壞性太大,就算是豐創集團公司能夠提供光刻掩膜,但是華興集團公司也必須要研發出光掩膜的保護層薄膜,提供阻隔外界污染的實體屏障,可以防止微塵或揮發氣體污染光掩膜表面,減少光掩膜使用時的清潔和檢驗。
而且這些薄膜的對光源的透射率太差的話,會大大地影響到光刻機的產量,如果光刻機的每個小時的晶圓吞吐量過低的話也是楊傑不能忍受的。
爲了達到這些設計目標,華興集團公司還有大量的研發要去做,沒有個五六年的功夫這些技術是無法成熟起來的。