第43章 工廠就位,流片進行中

“跟實驗室的感覺不一樣吧?”

三天後,工廠的各項工作已經準備就緒,對生產設備場刻儀的改造也已經完成,程旭也是帶着自己的九位“學生”來到了位於華州東南方向的機場空港新區的工廠。

“嗯。”九個人異口同聲的點了點頭。

“現在的工廠由於EDA尚未就位,很多操作需要手動設置參數,我今天的任務十分繁重,一會兒可能顧不上你們。”

程旭交代道:“你們今天的任務就是觀察工廠生產的整個過程,並分門別類的整理好所有的流程和環節

“目的也很簡單,把它融入到EDA的設計當中去。好了,換上你們的防靜電服,各自找好自己的位置。”

看着眼前,僅僅用了十五天就拔地而起的一大片工廠區域,程旭也是一臉的感慨,科技的力量真強大,嗯,還得致敬一直奮鬥在這裡的土木老哥。

……

工廠的第一批員工都是來自千尋科技的玉虛芯科技,雖然玉虛芯科技是一家芯片設計而非生產企業,但芯片設計企業也是要參與流片的整個過程的。

這些人至少對半導體芯片的流片是有一定經驗的,至於荷泵芯片的生產,那不用說了,沒有人有經驗,就算是程旭自己,也只是在實驗室的生產過程有一些經驗。

但實驗室的生產過程,與真正的工廠流片,那可是相去甚遠。

“你們也都知道,這是一個全新的過程,而且現在沒有完全自動化工具的支撐。”

程旭第一件事兒,就是給一線的這些技術人員講解操作手冊和注意事項:

“就算是半自動化的程序,也是這幾天才改造完成的,所以,大家的任務都很重。

“一會兒分配任務,每個人一定快速的記住自己要做什麼,參數怎麼設置,到哪一個步驟了,怎麼調整。

“相關的冊子已經在你們手裡了,每個人手裡都只有自己的部分,內容不多,相信對於在座的各位工程師來說,完全不會是問題。”

在座的工程師們,年齡小的也都有三十多歲了,年齡大的,四五十歲的都有,看着這麼一個小年輕來給自己講解,心裡也是覺得有點兒怪怪的。

倒不是他們有什麼瞧不上程旭的心思,他們既然選擇來到這裡,就肯定對荷泵這個體系做過提前的瞭解。

就算不了解,千尋科技的這種既送錢送廠又送人的態度,這麼殷勤,還不夠能說明問題嗎?

他們只是覺得,長江後浪推前浪,自己是不是這就要被拍在沙灘上了?

新事物的出現,意味着新機遇,這是他們選擇來到這裡的目的。但是,四五十歲的年紀還能跟得上新事物的發展嗎?

直到拿着自己的冊子,穿好靜電服來到產線的設備前,很多人心裡還在尋思:

“是直接被後浪拍在沙灘上,還是藉着這個勢頭直接騰飛,那就看今天這一下了。”

“其實每一個過程都非常簡單,”程旭看着有些沉悶的這些人,也是出聲安慰道:

“比晶圓工廠簡單。這第一步,叫覆板,你可以把它等同爲半導體芯片生產過程當中的晶圓切片和打磨工作,過程是一樣的,而且要求都差不多。

“只不過,晶圓片是半導體生產的基底,最終電路是刻畫在晶圓片上的,但荷泵不一樣,荷泵的電路邏輯實在一種特殊的導電膠上。

“這個覆板的這個板吶,只是在場刻過程當中起到一個支撐的作用,

另外其中的一些隱含電路紋路是起到劃域的作用的。”

“記住了沒?”程旭看每個人都安安靜靜的在聽,也是問了一句。

“嗯,晶圓切片。”一名約莫四十歲的工程師,名叫沈鍾,他中氣十足的說道。

“也行吧,你先這麼理解,問題也不大。”程旭沒有糾正沈鐘的話,反正流程差不多,不影響。

“那下一步是不是就該塗膠了?”沈鍾直接舉一反三,開口問道。

“咦,沈工,可以啊,”程旭倒是稀罕了,他還沒講呢,這都知道了:“這你都提前知道了?”

“半導體晶圓廠就是這樣,下邊該塗光刻膠了。”沈鍾現在自信的很,他在玉虛芯科技就是負責跟晶圓工廠的對接,流片生產這一套流程他熟得很。

“對,沒錯。”程旭笑着解釋道:

“下一步確實是塗膠,但這不是光刻膠,這幾個膠略微固化以後,就是我們未來的芯片,它是主材,而不是生產輔助材料。

“不過,你們把這個過程就當做塗光刻膠來理解也沒有任何問題,但要注意,這一步的操作要比塗光刻膠要求更高,參數都在冊子上,切記。”

沈鍾頓時得意了,這自己都懂啊,無壓力。

“下一個步驟……”

“曝光, 光刻!”程旭還沒開口呢,幾個人就喊開了,可惜,這次錯了。

程旭看着這些人的工作氣氛,心裡也是十分舒服——這些人鬧歸鬧,做事兒還是非常嚴謹認真的。

“下一個步驟,跟半導體芯片的生產過程就完全不同了。”

程旭這話一出,一羣人頓時安靜下來,屏氣凝神的聽着:“我們沒有光刻過程,電路也不是刻畫在晶圓片上的。

“而是用場刻儀這個設備,通過調節不同狹域內的場強度來刻畫到膠體上,整個過程持續的時間要比光刻過程長。

“你們都知道,光刻過程,現在的DUV光刻機一般十二秒,而場刻映射這個過程,每一次參數調節需要持續八秒。

“但每一次生產過程,都需要若干次的參數調節,具體幾次,怎麼調節,需要根據機器的反饋,而這整體過程下來大約需要五分鐘左右的時間。

“當然,這是目前手動半自動的這個版本,以後肯定會更新改進,全自動程旭的話,那速度就能立即提上來。

“而場刻過程之後呢,我們就需要利用升高溫度的方式來進行一次微烘烤……然後切割……脫板……二次升溫培育處理……”

……

實驗室的九個人一絲不苟的記錄着每一個步驟,並暗自在考慮,這些個生產過程怎麼與自動化工具EDA相結合,怎麼與先期的芯片設計工作相結合。

而原本還有些得意的沈鍾這個時候則是傻了眼,剛剛還全都懂呢,這一會兒自己就完全懵逼了——這都哪兒跟哪兒啊!

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