曝光系統，這可是光刻機核心中的核心啊，曝光系統還有問題，就敢喊“明年交付”？
“哎！”程旭嘆了口氣，瞬間想到了什麼，也有些理解，這其中應該還有一些戰略目的。
“是光學問題，還是系統問題？”程旭接着問道。
光學問題，就是超精密光學技術了，其中包括光源、掩膜板（臺）、透鏡等很多部分。
系統問題，那就涉及超精密光機系統協同、驅動控制、信息處理等多個模塊。
“這兩個問題其實可以歸結爲一個問題。”
來之前，趙輝已經獲得授權，拿到了所有的資料，就是爲了給程旭做考察之前的介紹：
“光學系統的精度不夠，本身是硬件問題。國科精密已經做到極限了，還是滿足不了28nm光刻機的需求。就現在，他們的人員還在不斷的嘗試攻克這一問題。
“而我們，也在嘗試，通過更智能的系統來解決這一問題，計算機輔助、物鏡光路智能跟進優化等，效果也不好。”
也正因如此，滬微對程旭十分重視，哪怕他還是隻是一個學生——甚至還專門在公司內尋找到了他的同鄉，趙輝來接待。
因爲他們知道，更強大的智能手段是能解決這個問題。而“言心”的一夜蛻變更是證明了程旭的實力。
而程旭，後槽牙都快咬斷了——他的目標可不是28nm光刻機，而是7nm的製程工藝啊！這下還怎麼搞！
尤其是調研了試產產線和看到了試產芯片效果的時候，程旭更是久久無言。
一個按照28nm級別打造的設備，現在試產40nm，堪堪達標。
試產28nm，良率，就別叫良率了吧，整片8寸晶圓，就沒產出幾塊兒能用的芯片。
更不用說套刻14，套刻7nm了。要知道，DUV光刻機的極限套刻精度是2.5nm啊！
當然，成本奇高，不會有真正產線這麼幹就是了。
但，臺積電用DUV量產了7nm的芯片，這是實打實可以做到的。
這也是程旭敢說7nm的根源所在，但現在……
七天，程旭整整在樣機產線鑽研了七天，一直搖頭嘆息外加不斷感嘆，但硬件本身不達標，又能怎麼辦呢？
“怎麼？有困難？”趙輝一路陪同，安慰道：
“不用急，大家都知道光刻機的難度，你這剛來，就算能解決，那也得幾個月半年的時間吧？不用那麼着急的！”
“行了，叫人吧，開會。”程旭也不再糾結，心裡有了決定，在這兒耗着，或許還不如回去研究荷泵提升來的快捷。
“能解決！”工程師們都到齊之後，程旭咬牙切齒的說了這麼一句話
“嗯？”
所有人都疑惑了，他們一進來就看到程旭凝重的表情，那意味着事情無比棘手，怎麼說出了“能解決”這四個字兒呢？
而且，這語氣，好像跟誰苦大愁深一樣，這是能解決的樣子嗎？
程旭沒有注意衆人的表情，而是介紹起自己的發現：
“這臺光刻機問題很多，首先，物鏡的標準還是很高的，滿足28nm光刻機絕對沒有問題。
“那問題出在哪兒了呢？是內部投影物鏡的溫度波動！”
“隨着光刻機分辨率的不斷提高，集成電路【芯片特徵線寬】逐漸縮小，溫度，哦，也包括溼度和環壓，這些外部環境參數的波動對成像質量的影響越來越大。
“比如，投影物鏡的溫度波動就會直接引起焦面位置漂移和成像畸變，這臺光刻機的境況就是因此此造成的。
“越高端的光刻機對環境參數的苛刻程度就越高，深紫外DUV光刻機就已經這樣了，未來做極紫外EUV光刻機相關要求只會更加苛刻。”
“哦嗚~”所有的工程師們都瞬間鬆了一口氣，別的不說，就程旭這判斷，可以說精準無比。
要知道，他可是隻要了生產過程資料和設備參數，並沒有聽取滬微其他的問題報告。
之前雖然相信智能手段能夠解決這個問題，但任誰看到一個二十多歲的小孩兒，心裡都是犯嘀咕的——這個年紀的人，即便滬微有，那也是實習生吧？
但程旭僅憑自己，一週的時間，就發現了他們光學系統問題的核心關鍵點。
衆人的信心一下自己又回來了——至於程旭一臉凝重甚至是咬牙切齒的表情，則是被他們忽視了，那大概是他固有的面容吧。
“那怎麼解決呢？”程旭接着說道：
“直接加熱或者冷卻是不可能的吧？利用液體循環溫控迴路對投影物鏡溫度進行遠距離間接控制是慣用方案，我們這個光刻機現在就是這種方案。
“但我們都知道，液體循環溫控迴路是一個非線性、多時滯、多重擾動的複雜大系統，這種大慣性將導致溫度收斂速度緩慢。
“對於此，研發控制穩定度高、收斂速度快的溫度控制高智能算法就是有效的解決方案。”
“智能控制算法以【決策信息集】和【推理規則庫】爲基礎，通過他們的結合實現，利用【智能決策算法】實現恰當的控制方式選擇。
“其中【決策信息集】來自控制過程的各種數據積累，【推理規則庫】則來自對控制過程的長期認知。”
“需要荷泵體系芯片支持？需要訓練決策、推理相關的AI？”
趙輝明白了程旭的打算了，智能決策算法、推理、可升級的規則庫， 再加上程旭的身份，理所當然的就能想到，這需要荷泵芯片的支持。
程旭點了點頭，這也是他無比糾結的地方——
原本以爲只更新智能系統就能解決28nm光刻機，荷泵芯片對光刻機各個子系統的支持，那是爲之後滿足套刻精度，自主生產14nm、7nm甚至5nm所準備的。
這一下子掏幹在這兒了，以後還怎麼搞？
計劃中要使用7nm製程工藝芯片，大概率是和華威合作。
芯片哪怕就用麒麟990變種，然後結合【珠穆朗瑪二代】，那絕對可以稱高端，在商務人士眼裡稱頂尖都不爲過。
可是，現在大概率只能實現14nm的自主了，14nm怎麼玩兒？
就是麒麟710A的水準，就算不玩遊戲，日常使用也會很難啊。
就算結合【珠穆朗瑪二代】又能怎樣，就算有效果，那也是大打折扣了！
……
“旭哥啊，”會都結束了，所有人都離開了，趙輝還在爲程旭的想法震驚：
“你這想的也太遠了，能解決一個算一個吧，28nm光刻機能下線，這就是巨大突破，以後的路只能走着再看了。”
“也只能如此了，先讓28nm光刻機下線再說。”
程旭說着，腦子一個激靈：“不對，先別走，等等，我總感覺我忽視了啥，7nm，甚至5nm，一定還有救！”
看着走着走着突然陷入閉目沉思的程旭，趙輝也是驚駭不已——妖孽都是這個樣子的嗎？